International References for Compact Sputter Coaters
Berner Fachhochschule
CH-3400 Burgdorf
Josef Zürcher
www.bfh.ch
ETH Zürich
Complex Materials
CH-8093 Zürich
Dimitri Kokkinis
www.mat.ethz.ch
Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration
DE-13355 Berlin
Jens-Uwe Schulz
www.izm.fraunhofer.de
Wacker Chemie
DE-84489 Burghausen
Christian Mittermaier
www.wacker.com
